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  1. SCHWEISSEN UND SCHNEIDEN
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Dr.-Ing. Axel Schumacher

Dr.-Ing. Axel Schumacher

Studium der Physik an der Universität Stuttgart. 1987 – 1993 Wissenschaftlicher Mitarbeiter bei Hahn-Schickard in Stuttgart. Seit 1993 Wissenschaftlicher Mitarbeiter bei Hahn-Schickard in Villingen-Schwenningen mit den Arbeitsschwerpunkten Lasermikromaterialbearbeitung, Entwicklung siliziumbasierter Sensoren und von Dosiersystemen für die Mikromedizin. 1999 Promotion über laserunterstütztes Ätzen von Silizium. Seit 2013 in der Gruppe Aufbau- und Verbindungstechnik mit dem Schwerpunkt Entwicklung innovativer Fügeverfahren.

1 Artikel

Hermetisches Fügen von MEMS-basierten Bauelementen mithilfe reaktiver Multischichtsysteme (RMS)

Dipl.-Ing. Michael Dietrich, Dipl.-Ing. Erik Pflug, Dr. rer. nat. Andreas Leson, Prof. Dr. Alfons Dehé, Dr.-Ing. Stephan Knappmann, Dr.-Ing. Axel Schumacher
Ausgabe 10 (2019)
Fachbeiträge, 678 - 683

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